Electron - beam lithography with a novel multilevel resist structure defines the pattern.
采用新型的多层抗蚀剂结构的电子束光刻来形成图形.
相关词汇
beamn. 梁，栋梁，束，光线，（电波的）波束；vi. 发出光与热，面露喜色；vt. 播送，以梁支撑，用…照射，流露；vt.& vi. 笑容满面，眉开眼笑，发射电波，播送，放出束状的光（或热）；
withprep. 和，跟，随着，关于，和…一致；
noveln. （长篇）小说，[法]新法，附律；adj. 新奇的，异常的；
resistv. 抵抗，抗拒，忍耐，反对，抵制；n. 防染剂，防腐剂；
definesv. 规定( define的第三人称单数 )，使明确，精确地解释，画出…的线条；
theart. 指已提到的人（物），指说话人与听者已知的人（物），用于独一无二的事物前，与形容词最高级和序数词连用；
patternn. 模式，花样，样品，图案，榜样，典范；vt. 模仿，以图案装饰；vi. 形成图案；