Application of time - optimal auto - alignment system in DSW photolithog - raphic process is investigated in this paper.
本文研究了最 短时 问控制系统在DSW光刻机自动对准系统中的应用问题.
相关词汇
ofprep. 关于，属于…的，由…制成；aux. 助动词 [非标准用语、方言] =have [主用于虚拟语气]；
timen. 时间，时刻，时代，次；vt. 为…安排时间，测定…的时间，调准（机械的）速度，拨准（钟、表）的快慢；vi. 合拍，和谐，打拍子；adj. 定时的，定期的，[美国英语]分期（付款）的；int. [体育]时间到，（一场或一局等的）比赛时限，暂停；
inprep. 采用（某种方式），穿着，带着，（表示位置）在…里面，（表示领域，范围）在…以内，（表示品质、能力等）在…之中；adv. 在家，进入，到达，流行，当选；adj. 在内的，朝内的，在位的，执政的，[口语]流行的，时髦的，（车等）到站的；n. 执政党，掌权者，知情者，<美口>入口，门路，<体>（板球或棒球）攻球的一方；
dswabbr. door switch （电梯）门开关；
processn. 过程，工序，做事方法，工艺流程；vt. 加工，处理，审阅，审核；vi. 列队行进；
isvt.& vi. 是（be的三单形式；n. 存在；
thispron. 这，这个，这事，这人，这时，下面所说的事；adj. 这，这个，刚过去的，即将到来的，今…，本…；adv. 这样地，就是这样，这么地；
papern. 纸，文件，论文，文章；vt.& vi. 贴纸；vt. 包装，用纸覆盖，贴壁纸，提供纸张，[俚语] 提供免费入场券；vi. 贴糊墙纸，发交通违章传票；adj. 纸制的，似纸的，有名无实的；