The modeling of microcircuit process equipment is investigated using fractional factorial experimental design and data transformation.
利用部分要因试验设计与数据转换表征微电路工艺设备).
相关词汇
theart. 指已提到的人（物），指说话人与听者已知的人（物），用于独一无二的事物前，与形容词最高级和序数词连用；
Modelingn. 造型（术），（图画等的）立体感，模特儿职业；adj. 制造模型的，模特儿的；
ofprep. 关于，属于…的，由…制成；aux. 助动词 [非标准用语、方言] =have [主用于虚拟语气]；
processn. 过程，工序，做事方法，工艺流程；vt. 加工，处理，审阅，审核；vi. 列队行进；
isvt.& vi. 是（be的三单形式；n. 存在；
usingv. 使用（ use的现在分词 ），利用，耗费，吸（毒）；n. 使用，利用，用途，使用权；
designvt.& vi. 设计，绘制；vt. 设计，计划，企图，决意（做）；n. 设计，图案，结构，计划；vi. 设计略图，（为工艺品、装潢项目等）设计，当设计师，构思；
andconj. 和，与，而且，于是，然后，因此；
datan. 资料，材料，datum的复数，[计算机]数据，资料，从科学实验中提取的价