Plasma - induced damage on 90 nm Cu dual Damascene technology devices is investigated.
研究了等离子体工艺对90nm铜大马士革工艺器件的损伤.
相关词汇
plasman. 血浆，原生质，细胞质，乳清，[物]等离子体；
inducedadj. 感应的；v. 引诱( induce的过去式和过去分词 )，<正>引起，催产，催生；
damagevt.& vi. 损害，毁坏；n. 损害，损毁，赔偿金；
onprep. （表示方向）向，（表示对象）对，（表示位置）在…上，（表示时间）在…之时；adv. （放，穿，连接）上，向前，（继续）下去；adj. 活动着的情况，状态，使用着的，发生着的，计划中的；
CUabbr. Cuba 古巴，Control Unit 控制器，Control Unit 控制器；
dualadj. 双的，两部分的，二体的，二重的；n. 双数，双数词；
damascenevt. （用金银）镶嵌，（用焊接方法）以波状花纹装饰；n. 镶嵌工艺，镶嵌金银的物品，波状花纹制品；adj. （有关）镶嵌金银的，使现波状纹的，用镶嵌工艺生产的；
devicesn. 设备，装置( device的名词复数 )，花招，（为实现某种目的的）计划，手段；
isvt.& vi. 是（be的三单形式；n. 存在；